高溫爐：包括石墨熱場高溫爐、金屬熱場高溫爐及其它形式的高溫度，包含真空高溫爐及正壓高溫爐，如各種硅材料生長爐、藍寶石長晶爐、高壓浮區生長爐、SiC生長爐、陶瓷燒結爐、石英熔爐等。

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